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Process Monitoring Tool

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose

Beschreibung

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
QualitätTechnische Ausführung/techninal specification—
PreisPreis/price—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragDatum
LOT-0001 Ohne Zuschlag — —

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 0fa4ea69db8b464a85d6f9af5b31b25d 26 August 2026
TED 587209-2026 —

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