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Process Monitoring Tool

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Veröffentlicht
29 Oktober 2025
Angebotsfrist
2 Dezember 2025, 10:00
Erfüllungsort
DED21
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
a4bb8f76da0a40bb8d54dc44b1981ae6
Referenz
a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 2 Dezember 2025, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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