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Precursor for MOCVD system

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Veröffentlicht
24 April 2025
Erfüllungsort
Frankfurt (Oder), DE406
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
3c43d5eb05394764919a383900f0ba9e
Referenz
b43a6d8b-e372-45f6-9fe0-21a66dca0dce
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

1 73Ge depleted germane gas (GeH4) - 73Ge isotopic depletion < 0.1% - chemical purity VSLI grade or better - metal ion concentration (per element) <50 ppb - particle concentration <250/ml - 2% GeH4 dilution with additional hydrogen H2 2 General requirements: - Product data sheet must be included in German. - Safety data sheet must be included in German. - Corresponding container/cylinder with a volume of B10 up to B50 must be included. - Pressure should be above > 20 bar. - Pneumatic Valve DISS C632-642 must be included. - Transport and delivery cost as well as packaging of all products and corresponding tools must be included. - The delivery time should be specified. 3 Alternatives: - Alternative offers to the advertised positions (Lfd. Nr.) 1 & 2 above, should the specified material weights or cylinder sizes not be in stock or available, are permissible if they are submitted separately.

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

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Die Vergabestelle ist IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Deutschland).
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