Plasmaverascher IZHH
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Veröffentlicht
- 9 Februar 2024
- Erfüllungsort
- Hamburg, DE600
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 07dae1e944224c548b6174ab2afee6fb
- Referenz
- 1d22159d-6c71-43bd-bc67-1a8c7ae749e1
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation.…
Zuschlagskriterien
- Qualität — Qualität des Plasmaveraschers
- Qualität — Service und Lieferung
- Preis — Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 07dae1e944224c548b6174ab2afee6fb · 9 Februar 2024
Weitere Ausschreibungen von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- EUSST - SBSS
- EUSST - Debris Population
- Lieferung einer modularen Vertiport-Infrastruktur
- Beschaffung eines Infrarot-Kamerasystems (Thermografie) inkl. SDK
- Laserlithographie
- Lieferung eines Öl-Thermostat (Projekt Zero4Cruise)
- HT-PEM Membran Elektroden Einheiten
- Software Development and Verification (GNC Software Unterstützung)
- AWB Antriebserneuerung GI AUAA
- Betriebshaftpflichtversicherung inklusive Umwelthaftpflicht- und Umweltschadenrisiken für das Deutsche Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.…
Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.