Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern
Geschlossen.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: einkauf@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Freihändige Vergabe mit Teilnahmewettbewerb c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung einer neuen, nicht gebrauchten trockenchemischen Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern von Photoresist-Resten z.B. mit einem Sauerstoffplasma, und zur Aktivierung von Oberflächen für eine weitere Prozessierung. Die Plasma-Ätzanlage muss zu den für eine CMOS-Prozessierung üblichen Standards kompatibel sein und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm prozessieren können. Es ist eine Ausführung als Tischgerät (table top) oder als Standgerät (standalone) mögli…
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 24634090-1 | 11 November 2025 |
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