Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern
Auftraggeber: NaMLab gGmbH
- Veröffentlicht
- 11 November 2025
- Erfüllungsort
- 01187 Dresden, DED
- Verfahren
- de-comp-neg-wo-call
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 24634090-1
- Offizielle Quelle
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Beschreibung
a) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Name des Auftraggebers: NaMLab gGmbH; Straße, Hausnummer: Nöthnitzer Straße 64 a; Postleitzahl: 01187; Ort: Dresden; Land: Deutschland; E-Mail: einkauf@namlab.com; Telefonnummer: +49 35121249900; Internetadresse: www.namlab.com; Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.; Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. b) Vergabeart: Freihändige Vergabe mit Teilnahmewettbewerb c) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden; Anschrift, an die die Angebote elektronisch zu übermitteln sind: www.evergabe.de d) Art und Umfang der Leistung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung einer neuen, nicht gebrauchten trockenchemischen Plasma-Ätzanlage zur Reinigung von Wafern von Photoresist-Resten z.B. mit einem Sauerstoffplasma, und zur Aktivierung von Oberflächen für eine weitere Prozessierung. Die Plasma-Ätzanlage muss zu den für eine CMOS-Prozessierung üblichen Standards kompatibel sein und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm prozessieren können. Es ist eine Ausführung als Tischgerät (table top) oder als Standgerät (standalone) mögli…
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 24634090-1 · 11 November 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist NaMLab gGmbH (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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