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Magnetronsputter-System

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Veröffentlicht
22 Dezember 2024
Erfüllungsort
Stuttgart, DE111
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
9b6379226405483791c269963fc5835f
Referenz
413434e2-db36-45e8-b4c7-3788a4ebf4f4
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Magnetronsputtern (MSP) beschafft werden. Hierbei muss das MSP-System in der Lage sein dünne Metall- und Metalloxidschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Die Schichten müssen sehr homogen und mit einer hohen Reproduzier-barkeit abgeschieden werden können. Das MSP-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Creavac GmbH

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Häufig gestellte Fragen

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Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
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