Lift-Off-Prozesmodul
Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
- Veröffentlicht
- 6 April 2025
- Angebotsfrist
- 12 Mai 2025, 12:00
- Erfüllungsort
- DE300
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- a0084d9d14154c7b8b85f2ea2be58d33
- Referenz
- 5d1ec039-ca8a-42f9-a4d9-1b8185614505
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.
Zuschlagskriterien
- Preis — Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
- Qualität — Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · a0084d9d14154c7b8b85f2ea2be58d33 · 6 April 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 12 Mai 2025, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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