Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Megaschall Reinigungsanlage für Einzelwafer , einschließlich Schulung

Beträge und Kennzahlen

Beschreibung

Das Leistungsverzeichnis beschreibt die zu erfüllenden Anforderungen. Die spezifizierten Anforderungen im Angebot sind einzuhalten. Bei Nichterfüllung einer spezifizierten Anforderung des Leistungsverzeichnisses kann das Angebot in der Ausschreibung nicht berücksichtigt werden. Das Megasonic-Reinigungssystem für Einzelwafer mit einer Größe von bis zu 200 mm Durchmesser muss die folgenden Anforderungen erfüllen. Grundsystem-Komplettes Reinigungssystem als Tischlösung oder Standardgerät mit einer Stellfläche von weniger als 9 qm. Sicherheitseinrichtungen-Flüssigkeitsfilter, Deckelverriegelung, Vakuumsensor Chemikalieneignung-Wasser, DI-Wasser, milde Säurelösungen, milde Lösungsmittel Zentrale Steuereinheit-mit Touchscreen und Rezepturspeicher mehr als 1000 Rezepte für das Schleudern von Wafern-langsames Schleudern zum Reinigen und schnelles Schleudern zum Trocknen, kann vom Megaschall-Controller getrennt sein Zusätzliche Steuerungen-Steuergerät mit Software für pneumatische Ventile für Reinigungschemikalien Automatische Injektionsleitung für Reinigungschemikalien, einschließlich pneumatischer Ventile mit einer Mindestgröße von ¼Zoll-einschließlich Überdruck- Ventil Dosierpumpe für Re…

Amtliche Veröffentlichungen

• Elektrolyseur Lehr- und Versuchanlage
  Veröffentlicht: 26 Oktober 2026
• Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme eines Analysesystems zur Elektronenrückstreubeugung (EBSD)
  Veröffentlicht: 26 Oktober 2026
• Unterhalts-, Grund- und Glasreinigung sowie Beschaffung Sanitärverbrauchsmaterialien und Winterdienst bzw. maschinelles Kehren
  Veröffentlicht: 8 Oktober 2026
• Lieferung von 2 Akustikboxen (Lieferleistung) im Rahmen der Baumaßnahme Schaffung von Lernzonen für Studierende Haus H.
  Veröffentlicht: 28 September 2026
• Montage einer LED-Wall an der Fassade des Haus H auf der Liegenschaft der Hochschule Schmalkalden, Blechhammer 9, D-98574 Schmalkalden
  Veröffentlicht: 28 September 2026
• Unterhalts-, Grund- und Glasreinigung sowie Beschaffung Sanitärverbrauchsmaterialien und Winterdienst bzw. maschinelles Kehren
  Veröffentlicht: 25 Juni 2026
• Unterhalts-, Grund- und Glasreinigung sowie Beschaffung Sanitärverbrauchsmaterialien und Winterdienst bzw. maschinelles Kehren
  Veröffentlicht: 20 Juni 2026
• Durchführung eines berufsbegleitenden Weiterbildungsstudiums im KRITIS-Management
  Veröffentlicht: 17 März 2026
• Reorganisation des hochschulinternen Identity and Access Managements (IAM)
  Veröffentlicht: 11 März 2026
• Lieferung von Schleif- und Poliergeräten zur Querschnittspräparation (von Fügeflächen in mikroelektronischen Komponenten)
  Veröffentlicht: 15 September 2025

Häufig gestellte Fragen

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Die Vergabestelle ist Hochschule Schmalkalden (Deutschland).

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