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Laserlithographie

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose
2
Eingegangene Angebote

Beschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterla…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
PreisPreis 50%50%
QualitätZusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0001 Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH 1 € 2 11 August 2026

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV f355815a5e3b4ecb80049b6c1bcc77f3 4 September 2026
TED 458627-2026 —

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