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Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Westsächsische Hochschule Zwickau

Geschlossen. Angebotsfrist: 10 Juli 2026.

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Beträge und Kennzahlen

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Lose

Beschreibung

Kurze Beschreibung: Anschaffung einer neuen DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) - mit Software- und Anlagensteuerung inklusive Installation und Einweisung Bestehend aus: DRIE/ RIE-Anlage, Substratelektrode, Kantenschutz der Wafer während der Ätzung, Notching-Kontrolle/ Reduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation einschließlich Inbetriebnahme und Schulung Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen) Neue DRIE/ RIE-Anlage inkl. Zubehör für die Forschung an der WHZ mit folgenden Anforderungen: 01 1 RIE / DRIE-Anlage Plasmaätzanlage für plasmachemisches, reaktives Silizium-Tiefenätzen (?500µm) mittels des Bosch-Prozesses (gas chopping process) und RIE von dünnen Dielektrika- Schichten (?2µm). - Die Anlage muss die Verarbeitung von 100mm Wafern mit und ohne Primary-Flat, sowie mit und ohne Secondary-Flat erlauben. - Die Anlage muss die Verarbeitung von 150mm Wafern mit und ohne Primary-Flat, mit und ohne Secondary-Flat oder auch mit und ohne Notch erlauben. - Das im DRIE-Modus mögliche S…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
PreisPreiskriterium—
QualitätErfüllung der Leistungsparameter—
QualitätLieferzeit—

Teilnahmebedingungen

  • Nachweis über Vorhandensein eines Applikationslabors bei Bieter
  • Der Auftragnehmer behält sich vor, Unterlagen zur Aufklärung nachzufordern.

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 2ccf26c16b0a47ce8228ad9b97611ff8 5 Juni 2026
TED 388383-2026 —

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 10 Juli 2026, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Westsächsische Hochschule Zwickau (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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