Ionenstrahltrimanlage
Zuschlag an scia Systems GmbH für 922.245 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Ausgeschrieben wurde eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll. Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | inkl. sämtlicher möglicher Nachlässe | — |
| Qualität | Bewertungskriterien der Leistungsbeschreibung | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | scia Systems GmbH | 922.245 € | 1 | 22 Januar 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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