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Integrated Measurement System CMP04

Auftraggeber: Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS

Veröffentlicht
31 Oktober 2025
Angebotsfrist
10 November 2025, 14:00
Erfüllungsort
01109 Dresden, Klotzsche, DED
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
24600066-1
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

Beschreibung

For an Ebara F-EX200M2 chemical-mechanical-polishing (CMP) system an integrated measurement system is needed. The CMP system is prepared with so called "NOVA ready - kit" which means all connections and the tool frame for an NOVA 2040dry system are available on customer site. Each measurent system needs to be able to fit to this frame and communication connections. Integrated Measurement System CMP04

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 10 November 2025, 14:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS (Deutschland).
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