Informationseinholung im Rahmen einer MARKTERKUNDUNG / MPG-MPL-240024 Beschaffung Mask aligner system
Auftraggeber: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
- Veröffentlicht
- 25 Juli 2024
- Erfüllungsort
- 91058 Erlangen, Staudtstraße 2, DE2
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 22422568-1
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000-5Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Es handelt sich nicht um ein Vergabeverfahren! Es ist eine unverbindliche Informationsabfrage, die allein der Markterkundung gemäß § 20 Unterschwellenvergabeverordnung (UVgO) dient. Das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts beabsichtigt den Kauf eines Mask-Aligners mit nachfolgenden Spzifikationen: Der Mask Aligner muss alle Werkzeuge enthalten, die zur Steuerung des gesamten Mikrofabrikationsprozesses vom Laden der Wafer bis zur Belichtung erforderlich sind. Im Einzelnen: - Maskenhalter zum Laden von 5" und 7" quadratischen Chrom-Fotomasken und flexiblen Film-Fotomasken - Ein einzelner Probenhalter zum Laden von Substraten unterschiedlicher Größe, einschließlich Siliziumwafern bis zu 6“ - Ein Ausrichtungssystem mit einer XYZ-Substratverschiebungsauflösung von weniger als 0,5 µm zur Steuerung der Maskenposition relativ zum Substrat mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von 1 µm. - Ausgestattet mit einer UV-LED-Quelle (Wellenlänge 365±5 nm), die im kontinuierlichen oder gepulsten Modus arbeitet und eine qualitativ hochwertige Kollimation (Divergenzwinkel von weniger als 2º) bietet, mit der Auflösungen von bis zu 1 µm erreicht werden können, ohne dass ein Vakuumkontaktmodus erfor…
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 22422568-1 · 25 Juli 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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