Informationseinholung im Rahmen einer MARKTERKUNDUNG / MPG-MPL-240024 Beschaffung Mask aligner system
Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
Geschlossen.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Es handelt sich nicht um ein Vergabeverfahren! Es ist eine unverbindliche Informationsabfrage, die allein der Markterkundung gemäß § 20 Unterschwellenvergabeverordnung (UVgO) dient. Das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts beabsichtigt den Kauf eines Mask-Aligners mit nachfolgenden Spzifikationen: Der Mask Aligner muss alle Werkzeuge enthalten, die zur Steuerung des gesamten Mikrofabrikationsprozesses vom Laden der Wafer bis zur Belichtung erforderlich sind. Im Einzelnen: - Maskenhalter zum Laden von 5" und 7" quadratischen Chrom-Fotomasken und flexiblen Film-Fotomasken - Ein einzelner Probenhalter zum Laden von Substraten unterschiedlicher Größe, einschließlich Siliziumwafern bis zu 6“ - Ein Ausrichtungssystem mit einer XYZ-Substratverschiebungsauflösung von weniger als 0,5 µm zur Steuerung der Maskenposition relativ zum Substrat mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von 1 µm. - Ausgestattet mit einer UV-LED-Quelle (Wellenlänge 365±5 nm), die im kontinuierlichen oder gepulsten Modus arbeitet und eine qualitativ hochwertige Kollimation (Divergenzwinkel von weniger als 2º) bietet, mit der Auflösungen von bis zu 1 µm erreicht werden können, ohne dass ein Vakuumkontaktmodus erfor…
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 22422568-1 | 25 Juli 2024 |
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