Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb

Veröffentlicht

22 Mai 2024

Erfüllungsort

DE929

Verfahren

Verhandlungsverfahren

Lose

1

Bekanntmachungsnummer

bc297156538c4e7d831f1dae37c2988d

Referenz

9fb14467-8134-40d6-8ee2-d324112fd25b

Offizielle Quelle

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CPV-Codes

• 38341100Registradores de haces electrónicos

Beschreibung

Benötigt wird ein dediziertes Hochleistungs-Elektronenstrahllithografie-System mit passender Ausstattung, um die technologischen Anforderungen, welche aus der Vielzahl an derzeit laufenden und geplanten sowie zukünftigen Projekten resultieren, erfüllen zu können. Folgende Anforderungen ergeben sich an das Gerät: 1. System zur Strukturierung von Elektronenstrahl-empfindlichen Lackschichten. 2. Erzeugung einzelner ‚Features‘ mittels Elektronenstrahllithographie, die Linienbreiten und Abmessungen im Bereich kleiner 8 nm haben (State of the Art). 3. Die Beschleunigungsspannung muss einstellbar bis zu 50 kV und muss ohne Einschränkungen unmittelbar umschaltbar sein auf einen zweiten Arbeitspunkt z.B. 10 kV, um z.B. bestimmte Profile in den belichteten Strukturen zu erzeugen, z.B. Unterschnitte für Liftoff Prozesse. 4. Der Durchsatz der Anlage muss bei einer regelmäßigen Vergleichsstruktur z.B. einem Diffraktionsgitter mit Submikrometerperiode eine Schreibgeschwindigkeit von 0,5 cm²/h besitzen, um die benötigten Probengrößen in angemessener Zeit herstellen zu können. 5. Benötigt wird eine Flexibilität in der Wahl der Belichtungsmodi für jedes einzelne Designelement z.B. grob und fein oh…

Zuschläge

Amtliche Veröffentlichungen

• OEV · bc297156538c4e7d831f1dae37c2988d · 22 Mai 2024

Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?

Die Vergabestelle ist Raith GmbH (Deutschland).

Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?

Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.