EUV-Targets
GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH
Zuschlag an Ushio Germany GmbH für 850.000 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Mit der zu Beschaffenden EUV-Quelle, inklusive Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission sollen wissenschaftliche Aspekte beleuchtet werden. Dazu gehören vor allem Untersuchungen der Emissionsabhängigkeiten von den Parametern der eingestrahlten Laserleistung. Zusätzlich soll dieser Aufbau als Alternative zu bereits am HI Jena entwickelten kohärenten EUV-Quellen hinsichtlich ihrer Anwendung für bildgebende Verfahren untersucht werden.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode" | 50% |
| Qualität | Es soll möglich sein auch folgende flüssige Metalle bzw. Legierungen zu nutzten (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung) - Bismuth (+2,5 BP) - Indium-Bismuth… | 25% |
| Qualität | Es soll möglich sein Feststoffe als Target zu nutzen, diese sollen zum Beispiel folgende sein (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung): - Aluminium (+1 BP) -… | 15% |
| Qualität | Angebotslegung für ein Gitterbasiertes Spektrometer zur Charakteri-sierung der spektralen Eigenschaften der EUV-Quelle. Die EUV-Kamera wird vom Anwender gestellt. Das Spektrometer muss fol-gende… | 10% |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Ushio Germany GmbH | 850.000 € | 1 | 21 Oktober 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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