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Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.

Auftraggeber: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Veröffentlicht
25 Juli 2024
Angebotsfrist
26 August 2024, 10:00
Erfüllungsort
Berlin, DE300
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
cc1afeba31cb486aab1fd38b207ca9b3
Referenz
626196c2-2324-4b2f-803f-33ee499fc511
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Die in der Arbeitsgruppe Präzisionsgitter (WI-APG) bestehenden vier AFM-Systeme sind essenziell für die Qualitäts- und Prozesskontrolle der Gitterfertigung und werden dauerhaft und parallel genutzt. Eines der bestehenden, manuellen Messsysteme („Hand AFM“ CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll. Die zu entwickelnde AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben in einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeiten erleichtern, den Messaufwand verringern und somit eine Zeitersparnis einbringen. Bisher werden die Gitter-Teststücke (Waferstücke mit etwa 1 mm Höhe, die mit Unterlage gemessen werden) per Augenmaß ausgerichtet, anschließend einzeln manuell angefahren und gemessen. Gegebenenfalls ist eine Korrektur der Probenausrichtung und eine erneute Messung nötig. Das AFM-System mit Translations-/Rotationsstage ist hauptsächlich konzipiert, um m…

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 26 August 2024, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) (Deutschland).
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