Elektronenstrahlverdampfer-System
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Veröffentlicht
- 14 Dezember 2024
- Erfüllungsort
- Stuttgart, DE111
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 94e2e56770294a418bd96f600dade263
- Referenz
- e2f025e0-0c6f-4af4-b956-a869587e6817
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Elektronenstrahlverdampfen (ESV) beschafft werden. Hierbei muss das ESV-System in der Lage sein dünne Metallschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Das ESV-System muss in der Lage sein, entsprechenden Schichten im einer Auf-dampfrate im Bereich von Angström pro Sekunde abzuscheiden. Ebenso müssen die entspre-chenden Schichten sehr homogen mit einer hohen Reproduzierbarkeit abgeschieden werden kön-nen. Das ESV-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
- Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| Creavac GmbH | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 94e2e56770294a418bd96f600dade263 · 14 Dezember 2024
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