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DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau

Veröffentlicht
13 April 2025
Erfüllungsort
Dresden, DED21
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
3ccd425fce4243a086ee905740dd60e5
Referenz
16cd6b5a-0dcb-4fc9-b5f2-a81ac88a965b
Offizielle Quelle
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CPV-Codes

Beschreibung

DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2)

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