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DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau

Veröffentlicht
19 Juli 2026
Erfüllungsort
Dresden, DED21
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
170403e1fba842339a2e1deb5d89200f
Referenz
16cd6b5a-0dcb-4fc9-b5f2-a81ac88a965b
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2)

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
KLA Corporation

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Häufig gestellte Fragen

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