DRIE-Anlage
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Geschlossen. Angebotsfrist: 27 Februar 2026.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten L…
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis 42% | 42% |
| Qualität | Qualität 58% Aufgeteilt in: Qualität 38% Service und Lieferung 20 % | — |
Teilnahmebedingungen
- Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des…
- Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden…
- Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache…
- Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der…
- Eigenerklärung „BMWK-Russland“: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in…
- Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)
Amtliche Veröffentlichungen
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Vorherige und folgende von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 27 Februar 2026, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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