Direktschreiblithographie-System
Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein und es darf durch den Betrieb keine nennenswerte Partikelemission ausgehen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | 1 | 19 November 2024 |
Amtliche Veröffentlichungen
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