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Direktschreiblithographie-System

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Veröffentlicht
11 Dezember 2024
Erfüllungsort
Stuttgart, DE111
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
56f8b93a447d498980fa9a43365b7ce5
Referenz
7b653808-95c8-4275-a62b-50d2a4bb88fb
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein und es darf durch den Betrieb keine nennenswerte Partikelemission ausgehen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

Amtliche Veröffentlichungen

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
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