Deposition Tool 8 Inch
Auftraggeber: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Veröffentlicht
- 21 August 2026
- Angebotsfrist
- 5 Oktober 2026, 12:00
- Erfüllungsort
- Garching, DE21H
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- b635f5931b0a48458a3f6e8ade80f88d
- Referenz
- e06c816c-ffcf-4865-9128-954fd6ae4046
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
- 42900000Máquinas diversas para usos generales y especiales
Beschreibung
The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Zuschlagskriterien
- Qualität — Siehe Vergabeunterlagen
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · b635f5931b0a48458a3f6e8ade80f88d · 21 August 2026
Weitere Ausschreibungen von Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Dienstleistungen im Rahmen der Umrüstung des FRM II auf niedrig angereicherte Brennelemente
- Two Cryogen-free Dilution Refrigerators
- Cryogen-free Dilution Refrigerator with Optics
- TUM Forschungscampus Garching - Contracting-Maßnahme - Energieversorgung Wärme und Strom
- Cryogen-free Dilution Refrigerator with Vector Magnet
- XPS
- Herstellung und Lieferung der POWTEX-Abschirmung-ZWS
Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 5 Oktober 2026, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Benachrichtigungen für ähnliche Ausschreibungen erhalten
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.