Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Beträge und Kennzahlen

Beschreibung

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible u…

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Amtliche Veröffentlichungen

• Tragswerksplanung für CASUS
  Veröffentlicht: 9 Oktober 2026
• Objektplanung und Aufzugsanlagen für CASUS
  Veröffentlicht: 9 Oktober 2026
• Ge-detector
  Veröffentlicht: 6 Oktober 2026
• Fachplanung Technische Ausrüstung
  Veröffentlicht: 4 September 2026
• GPU-Rechenknoten
  Veröffentlicht: 30 August 2026
• Ge-detector
  Veröffentlicht: 16 August 2026
• CERI2 - Objektplanung Freianlagen
  Veröffentlicht: 26 Juli 2026
• BNB-Koordination und Bauphysik für CASUS
  Veröffentlicht: 22 Juli 2026
• Hochgeschwindigkeitskamera
  Veröffentlicht: 19 Juli 2026
• Photocathode Laser System
  Veröffentlicht: 17 Juli 2026

Vorherige und folgende von Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.

• A continuos-wave and single-frequency laser source — 7 Juli 2026
• GPU-Rechenknoten — 5 Juli 2026
• Femtosecond Laser System — 9 Juni 2026
• CERI2 - Fachplanung Technische Ausrüstung — 31 Mai 2026
• CERI2 - Tragwerksplanung — 31 Mai 2026
• CERI2 - Objektplanung Freianlagen — 31 Mai 2026

Ähnliche offene Ausschreibungen

• Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter — Frist bis 30 Oktober 2026
• Photomakrographie System — Frist bis 25 Oktober 2026
• Herstellung und Lieferung von Power Kopplern nach DESY-Spezifikation und Zeichnungen — Frist bis 2 November 2026
• MS/MS Massenspektrometer — Frist bis 5 November 2026
• Ersteinrichtung Labor - Neubau CARDDIAB — Frist bis 2 November 2026
• Stadtgebiet Koblenz_Lieferung und Montage von 60 Parkscheinautomaten — Frist bis 3 November 2026

Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?

Die Vergabestelle ist Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. (Deutschland).

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