Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Geschlossen. Angebotsfrist: 28 April 2026.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible u…
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx | — |
| Preis | Evaluation price according to Annex 01A | — |
Teilnahmebedingungen
- according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
- The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package…
- in accordance with legal requirements from VgV
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 28 April 2026, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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