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Vergeben Deutschland Lieferungen

CMP-Anlage IZHH

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Veröffentlicht
14 Juli 2024
Erfüllungsort
DE600
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
2db1d54b8ee641279a710a01ce2e1774
Referenz
6122b2f7-ce23-421e-9664-548603147e7d
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Lieferung einer CMP-Anlage für das Innovationszentrum Hamburg einschließlich Ab- und Inbetriebnahme, Schulung, Service und Wartung. Zur Planarisierung und zum Polieren von Substratoberflächen wird eine Anlage zum chemisch-mechanischen Polieren (chemical-mechanical polishing CMP) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Silizium, Dielektrika und Metalle auf Wafern mit bis zu 150 mm Durchmesser abgetragen und eine plane polierte Oberfläche generiert werden.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Struers GmbH

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
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