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Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (REM)

Auftraggeber: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. vertreten durch das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts Staudtstraße 2 91058 Erlangen

Veröffentlicht
22 Dezember 2023
Erfüllungsort
DE252
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
6d2839d5bbe442d3a5245771d769fb9d
Referenz
dd147d1f-7d53-4b1c-a571-2c3646b1c3aa
Offizielle Quelle
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CPV-Codes

Beschreibung

Es wird ein Rasterelektronenmikroskop (REM) für hochauflösende Niederspannungsaufnahmen (Auflösung deutlich kleiner als 1nm bei allen Landeenergien von 1keV bis 30keV) und hochauflösende Niedervakuumaufnahmen (Auflösung mind. 1nm bei 15keV im Niedervakuumbereich) von hauptsächlich nichtleitenden, nanostrukturierten Proben beschafft. Typische Proben sind Lichtwellenleiterstrukturen aus verschiedensten Materialien auf Glas, photonische Kristallfasern aus Glas, Lithographiemasken, Partikel/Nanopartikel/Quantendots aus verschiedensten Materialien auf Deckgläsern und empfindliche Materialien wie Belichtungsparameterteststrukturen aus Polymer auf Glas oder organische Kristalle auf Glas. Die Probenkammer soll weitgehend feldfrei sein um auch magnetische Partikel in dem Gerät ohne extra Einbettung untersuchen zu können. Eine minimale Elektronenlandeenergie von <0.1keV und einstellbare, kleine Elektronenströme sollen zur Inspektion von elektrisch nichtleitenden, empfindlichen Materialien vorhanden sein. Die Bildaufnahme soll im gesamten Elektronenlandeenergiebereich und im Niedervakuum mit gutem Signal zu Rauschen Verhältnis möglich sein. Es sollen zwei Säulen-basierte Elektronendetektoren …

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. vertreten durch das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts Staudtstraße 2 91058 Erlangen (Deutschland).
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