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Beschaffung eines modularen maskenlosen Laserlithographiesystems inkl. Zubehör zur Verbesserung spezifischer Graustufenbelichtungen.

Universität Siegen

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Lose

Beschreibung

Beschaffung eines modularen maskenlosen Laserlithographiesystems für den bestehenden und zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen. Das Lithographiesystem dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung von halbleitenden, metallischen und dielektrischen Dünnschichten sowie von 2D-Materialien. Es steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung. Die Realisierung und konsequente Weiterentwicklung funktionaler Bauelemente im Bereich der Forschungsschwerpunkte der Universität Siegen erfordern die Definition von Strukturgrößen und Justiergenauigkeiten im sub µm Bereich. Einsatzgebiete dieser Strukturen umfassen die Bereiche Sensorik, Materialwissenschaften, Mikro- und Nanochemie mit dem Ziel der Erforschung einer breiten Palette an Baueleme…

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV — 14 Juni 2024
TED 353689-2024 —

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