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Beschaffung einer hybriden Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für Sputtern und Bedampfen

Auftraggeber: Ludwig-Maximilians-Universität München

Veröffentlicht
17 November 2023
Erfüllungsort
DE212
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
871a69438c39499393ad6c36da8d5730
Referenz
02889c17-2b6e-4871-b689-f213e7cda1f9
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer kombinierten Anlage zum Abscheiden von dünnen Schichten mittels Magnetron-Sputtern (DC und RF) und/oder Aufdampfen (Elektronenstrahlverdampfen und thermisches Verdampfen) von unterschiedlichen Reinstmetallen, Legierungen, Halbleitern und Isolatoren in Ultrahochvakuum (Restgas-druck p < 5 x 10-9 mbar) für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
BESTEC GmbH 735.000 €

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