Beschaffung einer Hochvakuum-Depositionsanlage
Martin-Luther Universität - Abteilung 2 - Finanzen
Geschlossen.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Nationale Ausschreibung nach UVgO Vorinformation 1. Öffentlicher Auftraggeber Name und Anschrift: Martin-Luther Universität - Abteilung 2 - Finanzen Universitätsplatz 10 06108 Halle (Saale) Telefonnummer: +49 3455521074 E-Mail: frank.dietrich@verwaltung.uni-halle.de Faxnummer: +49 3455527631 Internet: 2. Vergabeverfahren Verhandlungsvergabe Rechtsrahmen UVgO 3. Auftragsgegenstand: Beschaffung einer Hochvakuum-Depositionsanlage 4. Ort der Ausführung Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften Eingang A, Erdgeschoß Heinrich-Damerow-Straße 4 06120 Halle 5. Art und voraussichtlicher Umfang der Leistung: Produktbeschreibung: Es soll eine Hochvakuumdepositionsanlage zur Abscheidung von Vielfachschichten aus verschiedensten Materialien beschafft werden, in der mehrere verschiedene Verdampfungs- und Sputterdepositionsquellen gleichzeitig angebracht sein können. Die Anlage soll sowohl die Elektronenstrahlverdampfung von Metallen, sowie die klassische thermische Verdampfung erlauben. Außerdem soll auch die RF- sowie DC- Magnetron-Sputterdeposition damit möglich sein. Das System muss komplett betriebsbereit mit Pumpsystem, Automatisierungss…
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 21898358-1 | 13 April 2024 |
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Häufig gestellte Fragen
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