Beschaffung einer CMP Anlage
Max-Planck-Gesellschaft z.F.d.W. Generalverwaltung;
Geschlossen. Angebotsfrist: 12 Dezember 2023.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Beschaffung einer chemisch-mechanischen-Polieranlage für Wafer. Die Anlage soll geeignet sein, um Wafer mit verschiedenen topographischen Schichten, wie z.B. Silizium, Siliziumoxid, Wolfram, etc. zu planarisieren und zu polieren.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis | — |
Amtliche Veröffentlichungen
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