Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Zuschlag an ASM Europe B.V.
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Beträge und Kennzahlen
1
Lose
1
Eingegangene Angebote
Beschreibung
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis | — |
| Qualität | Technische und technologische Bewertung | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | ASM Europe B.V. | — | 1 | 26 März 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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