Automatisiertes Cluster Depositionstool
Zuschlag an Korvus Technology Ltd für 1.347.500 €.
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Beträge und Kennzahlen
1
Lose
5
Eingegangene Angebote
Beschreibung
Automatisiertes Dünnschicht-Clustertool
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Das günstigste Angebot erhält 30 Punkte, Berrechnung: max. Punkte - (max. Punkte *(Preis-günstigster Preis)/günstigsten Preis ) | — |
| Qualität | Aus Kostengründen haben wir erlaubt, dass TCO-Sputtern, sowie Hoch- und Niedrigtemperatur-verdampfung in Kammer (4) zusammengelegt werden können. Sollte das Angebot aber darüber hinaus jeweils eine… | — |
| Qualität | Für die folgenden, zusätzlich zu den Mindestanforderungen im Angebot enthaltenen Sputter- und Verdampferquellen für Kammer (4) werden bis zu maximal 30 weitere Punkte vergeben. - Je zusätzlicher… | — |
| Qualität | "Zusätzlich zu den oben erwähnten Punkten werden für folgendes Zubehör weitere Punkte bis maximal 20 Punkte vergeben: -Möglichkeit zur Reinigung der Kammern (z.B. über Ausheizen, Plasma, etc.) 5… | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Korvus Technology Ltd | 1.347.500 € | 5 | 28 Juli 2025 |
Amtliche Veröffentlichungen
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