Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum (RUB)
- Veröffentlicht
- 13 August 2026
- Geschätzter Auftragswert
- 1.024.000 €
- Erfüllungsort
- Bochum, DEA51
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- b750304cda8845bab95f4b3656e001d8
- Referenz
- c859db0a-fabf-43ac-b7eb-a242bcd86fbf
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · b750304cda8845bab95f4b3656e001d8 · 13 August 2026
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1.024.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Ruhr-Universität Bochum (RUB) (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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