Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Geschlossen. Geschätzter Auftragswert: 1.024.000 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Teilnahmebedingungen
- Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der…
- Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der…
- Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen…
- Eine Nachforderung erfolgt im Rahmen einer Ermessensentscheidung des Auftraggebers.
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
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- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1.024.000 €.
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