Atomlagendepositions- und Atomlagenätz- Anlagen
Direktvergabe an Oxford Instruments GmbH Plasma.
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Beträge und Kennzahlen
1
Lose
Beschreibung
komplementärer Atomlagendepositions- und Atomlagenätz- Anlagen
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | In nahezu jeder Prozessabfolge werden das ALD und das ALE/RIE System sequenziell nacheinander angewendet. Um diese verwandten Prozesse vollständig einheitlich und nutzerfreundlich zu gestalten,… | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Oxford Instruments GmbH Plasma | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
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