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APECS FBH-01.3 ION BEAM ETCHING

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose

Beschreibung

FBH-01.3 Ionenstrahlätzer

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV 19d4ff81f0d14e6db7b2516c48128d82 8 Juli 2026
TED 469120-2026 —

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