Anlage zum Reaktiven Ionenätzen
Auftraggeber: Universität Stuttgart
- Veröffentlicht
- 11 April 2025
- Geschätzter Auftragswert
- 429.000 €
- Erfüllungsort
- Stuttgart, DE111
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 639cab406cd04a78bbaa0683ba767104
- Referenz
- ab22415b-9765-4d00-baac-a1a18f26cc98
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Beschreibung
Anlage zum Reaktiven Ionenätzen mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle
Zuschlagskriterien
- Preis — Das Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis erhält die Höchstpunktzahl. Ist der Gesamtpreis eines Angebots z.B. um 100% höher im Vergleich zum Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis, dann erhält…
- Qualität — Erfahrungsmerkmale: Für den Betrieb ist Prozesswissen zentral und für eine nachhaltige Nutzung ist ein Austausch mit anderen Nutzern erfahrungsgemäß von großer Bedeutung. Daher wird der Nachweis von…
- Qualität — Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200…
- Qualität — Umweltaspekte: Nachhaltigkeit und Umweltschutz sind Kernziele des Landes Baden-Württemberg.
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| Oxford Instruments GmbH | 360.000 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 639cab406cd04a78bbaa0683ba767104 · 11 April 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 429.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Universität Stuttgart (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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