Anlage zum Reaktiven Ionenätzen
Zuschlag an Oxford Instruments GmbH für 360.000 €.
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Beträge und Kennzahlen
429.000 €
Geschätzter Auftragswert
1
Lose
1
Eingegangene Angebote
Beschreibung
Anlage zum Reaktiven Ionenätzen mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Das Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis erhält die Höchstpunktzahl. Ist der Gesamtpreis eines Angebots z.B. um 100% höher im Vergleich zum Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis, dann erhält… | 100% |
| Qualität | Erfahrungsmerkmale: Für den Betrieb ist Prozesswissen zentral und für eine nachhaltige Nutzung ist ein Austausch mit anderen Nutzern erfahrungsgemäß von großer Bedeutung. Daher wird der Nachweis von… | — |
| Qualität | Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200… | — |
| Qualität | Umweltaspekte: Nachhaltigkeit und Umweltschutz sind Kernziele des Landes Baden-Württemberg. | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Oxford Instruments GmbH | 360.000 € | 1 | 28 März 2025 |
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 429.000 €.
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- Die Vergabestelle ist Universität Stuttgart (Deutschland).
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