2 sets de 8 fours comprenant 4 tubes pour des procédés de dépôt chimique à basse pression vapeur (LPCVD) et 4 tubes atmosphériques pour le CMi
Auftraggeber: EPFL-Scientific Equipment
- Veröffentlicht
- 25 Oktober 2025
- Angebotsfrist
- 4 Dezember 2025, 23:59
- Erfüllungsort
- Lausanne, CH011
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Bekanntmachungsnummer
- 25704-01
- Referenz
- aced7d39-7ba7-45c1-ae7f-6b4a466a812d
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
L’EPFL a l’intention d’acquérir 2 sets de 8 fours comprenant 4 tubes pour des procédés de dépôt chimique à basse pression vapeur (LPCVD) et 4 tubes atmosphériques pour son Centre de MicroNanotechnologies (CMi). L’évaluation sera basée sur la performance des procédés, sur la robustesse de l’équipement, la facilité d’utilisation/maintenance. Les performances seront évaluées sur l’uniformité de déposition/croissance, la répétabilité et la durée des procédés. Les exigences générales sont : · (1 Tube) Déposition par procédé LPCVD de polysilicium (Poly-Si), silicium amorphes (aSi), polysilicium dopé N (N-Si) et polysilicium dopé P (P-Si) de haute qualité et densité, avec de faibles teneurs en impuretés et hydrogène. · (1 Tube) Déposition par procédé LPCVD de nitrure de silicium hautement stœchiométrique à forte contrainte (Si3N4) et de nitrure de silicium riche en silicium à faible contrainte (lsnit) de haute qualité et densité, avec de faibles teneurs en impuretés et hydrogène. · (1 Tube) Déposition par procédé LPCVD d’oxyde SiO2 à basse température (LTO) de haute qualité et densité, avec de faibles teneurs en impuretés et hydrogène. · (1 Tube) Déposition par procédé LPCVD d’oxyde SiO2 …
Amtliche Veröffentlichungen
- SIMAP · 25704-01 · 25 Oktober 2025
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Häufig gestellte Fragen
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- Die Angebotsfrist endet am 4 Dezember 2025, 23:59. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist EPFL-Scientific Equipment (Schweiz).
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