PVD toestel voor MRAM
Aanbestedende dienst: Imec EU Pilot line NV
- Gepubliceerd
- 1 april 2025
- Procedure
- Onderhandelingsprocedure
- Percelen
- 1
- Documenten
- 1
- Aankondigingsnummer
- 78d2c7a2f8d14ad6bed85578c2ac587c
- Referentie
- e2e33bc5-8cbf-4c6d-96b0-bbdfcc3744ce
- Officiële bron
- Officiële bron
CPV-codes
- 38000000Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Beschrijving
de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.
Gunningscriteria
- Kosten — See tender documen
Officiële publicaties
- BDA · 78d2c7a2f8d14ad6bed85578c2ac587c · 1 april 2025
Andere aanbestedingen van Imec EU Pilot line NV
- Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- WAFER-COMPATIBELE PLASMA GEFOCUSTE IONENBUNDEL-SCANNING ELEKTRONENMICROSCOOP (PFIB-SEM) SYSTEEM
- Virtual Compute Platform
- Advanced Lithography EUV Scanner
- 300 MM WAFER PLATFORM WITH SINGLE WAFER CHAMBERS CVD SI/POLY+ RTO/RTA
- Semi Automated TEM Lamella Lift out Tool
- Semi-Automatic Wafer Probers
- Automatic Wafer Probers
- LARGE DUAL BEAM (FAB FIB SEM)
- BRIGHTFIELD INSPECTION TOOL
Veelgestelde vragen
- Wie is de aanbestedende dienst van deze aanbesteding?
- De aanbestedende dienst is Imec EU Pilot line NV (België).
- Hoe kan ik inschrijven op aanbestedingen in België?
- Inschrijvingen worden ingediend via het officiële aanbestedingsplatform in België. El Vínculo helpt u aanbestedingen te vinden en de documenten te analyseren; de indiening gebeurt altijd bij de officiële bron.
Maak een gratis account aan en ontvang elke dag nieuwe aanbestedingen in België die bij uw bedrijf passen.