El Vínculo El Vínculo.
Gesloten Nederland Leveringen

European Tender Dry Etcher

Aanbestedende dienst: Universiteit Twente

Gepubliceerd
26 mei 2024
Uiterste indieningstermijn
15 juli 2024, 12:00
Plaats van uitvoering
NL
Procedure
Openbare procedure
Documenten
1
Aankondigingsnummer
337390
Referentie
TN-468952
Officiële bron
Officiële bron

CPV-codes

Beschrijving

The MESA+ Institute will invest in a new Dry Etch tool system to reinforce their state-of-the-art etch capabilities and etch capacity. Applications: The tool must be capable of etching silicon and/or silicon-based materials for a variety of nano- and/or microscale structures with nanometre precision and high wafer-scale uniformity.  The tool must be suitable for the etching of silicon-based materials with etch rates of 1 nm/min up to 15 µm/min. The tool must be equipped with reliable end-pointing, also for loadings of < 5% open area (based on 100 mm wafer), using OES or laser interferometry. The required nanometric precision of the tool is defined as the wafer-scale controllability in three-dimensional micro- and nano-machining of silicon and/or silicon-based materials. A uniform plasma density is required for highly adjustable control over the x- and y-dimensions (lateral) upon etching in the z-direction (depth), with an accuracy ± 2 nm using fluor-based chemistries with processes containing the gases Ar, O2, N2, SF6, and C4F8. The required high uniformity of the tool is defined as a uniform plasma ion density across the wafer, providing a uniform etching performance for wafer si…

Officiële publicaties

Andere aanbestedingen van Universiteit Twente

Alles bekijken →

Veelgestelde vragen

Wat is de uiterste termijn om in te schrijven op deze aanbesteding?
De uiterste indieningstermijn is 15 juli 2024, 12:00. Raadpleeg de officiële bron, want data kunnen worden gewijzigd.
Wie is de aanbestedende dienst van deze aanbesteding?
De aanbestedende dienst is Universiteit Twente (Nederland).
Hoe kan ik inschrijven op aanbestedingen in Nederland?
Inschrijvingen worden ingediend via het officiële aanbestedingsplatform in Nederland. El Vínculo helpt u aanbestedingen te vinden en de documenten te analyseren; de indiening gebeurt altijd bij de officiële bron.
Ontvang meldingen voor vergelijkbare aanbestedingen
Maak een gratis account aan en ontvang elke dag nieuwe aanbestedingen in Nederland die bij uw bedrijf passen.

Gratis beginnen

Gegevens verzameld uit officiële bronnen voor overheidsopdrachten. Bedragen zoals gepubliceerd door de aanbestedende dienst.