European Tender Dry Etcher
Aanbestedende dienst: Universiteit Twente
- Gepubliceerd
- 26 mei 2024
- Uiterste indieningstermijn
- 15 juli 2024, 12:00
- Plaats van uitvoering
- NL
- Procedure
- Openbare procedure
- Documenten
- 1
- Aankondigingsnummer
- 337390
- Referentie
- TN-468952
- Officiële bron
- Officiële bron
CPV-codes
- 38000000-5Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Beschrijving
The MESA+ Institute will invest in a new Dry Etch tool system to reinforce their state-of-the-art etch capabilities and etch capacity. Applications: The tool must be capable of etching silicon and/or silicon-based materials for a variety of nano- and/or microscale structures with nanometre precision and high wafer-scale uniformity. The tool must be suitable for the etching of silicon-based materials with etch rates of 1 nm/min up to 15 µm/min. The tool must be equipped with reliable end-pointing, also for loadings of < 5% open area (based on 100 mm wafer), using OES or laser interferometry. The required nanometric precision of the tool is defined as the wafer-scale controllability in three-dimensional micro- and nano-machining of silicon and/or silicon-based materials. A uniform plasma density is required for highly adjustable control over the x- and y-dimensions (lateral) upon etching in the z-direction (depth), with an accuracy ± 2 nm using fluor-based chemistries with processes containing the gases Ar, O2, N2, SF6, and C4F8. The required high uniformity of the tool is defined as a uniform plasma ion density across the wafer, providing a uniform etching performance for wafer si…
Officiële publicaties
- TENDERNED · 337390 · 26 mei 2024
- TED · 311521-2024
Andere aanbestedingen van Universiteit Twente
- European Tender Learning Management System
- Europese Aanbesteding Brokerdienstverlening Inhuur
- European Tender Electron Beam Lithography system
- Vector Network Analyzer
- European Tender Direct Laser Writing system
- Ex Ante Fan Filter Units Nanolab
- Market consultation Learning Management System
- Europese Aanbesteding Werving & Selectiebureaus
- Europese aanbesteding Duurzame Elektriciteit en Aardgas
- Niet-openbare Europese aanbestedingsprocedure, selectie bouwteampartners voor renovatie Cubicus
Veelgestelde vragen
- Wat is de uiterste termijn om in te schrijven op deze aanbesteding?
- De uiterste indieningstermijn is 15 juli 2024, 12:00. Raadpleeg de officiële bron, want data kunnen worden gewijzigd.
- Wie is de aanbestedende dienst van deze aanbesteding?
- De aanbestedende dienst is Universiteit Twente (Nederland).
- Hoe kan ik inschrijven op aanbestedingen in Nederland?
- Inschrijvingen worden ingediend via het officiële aanbestedingsplatform in Nederland. El Vínculo helpt u aanbestedingen te vinden en de documenten te analyseren; de indiening gebeurt altijd bij de officiële bron.
Maak een gratis account aan en ontvang elke dag nieuwe aanbestedingen in Nederland die bij uw bedrijf passen.