ICFO-2026-003 Subministrament, instal·lació i posada en funcionament d’un forn HMDS per a l'aplicació de promotor d'adhesió sobre substrats per al grup d'optoelectrònica de l’ICFO, for the Pilot Line PIXEurope

Importes y cifras

Qué se contrata

Un horno HMDS (hexametildisilazano) completo, operativo y listo para usar, para mejorar la adhesión de fotorresinas y otros recubrimientos en procesos de microfabricación del grupo de optoelectrónica del ICFO, destinado a chips fotónicos integrados y superficies estructuradas para tecnologías cuánticas. El equipo debe permitir un tratamiento de vapor uniforme, con condiciones de proceso controladas y reproducibles.

Las prestaciones exigidas son: compatibilidad con obleas de hasta 200 mm y piezas más pequeñas; rango de temperatura de ambiente a ≥200 °C con precisión de ±1 °C; variación de proceso en el sustrato ≤5 % y variación entre ciclos ≤2 %; cámara resistente a la corrosión y compatible con HMDS; depósito integrado de HMDS con control de vapor; purga automática con nitrógeno seco o aire limpio seco; interfaz táctil o PC con almacenamiento de recetas y registro de datos; y enclavamientos de seguridad para puerta, sobretemperatura y detección de fugas de HMDS.

Plazo de entrega e instalación: 10 semanas desde la fecha indicada en el documento de formalización del contrato. El transporte a las instalaciones del ICFO, incluidos los derechos de exportación, importación y aduana, corre a cargo del adjudicatario. El equipo debe ser marcado CE y cumplir la normativa REACH en el manejo de HMDS.

Garantía total de 2 años desde la aceptación, con sustitución de piezas defectuosas y cobertura de desplazamientos y reparación in situ, con reparación en un máximo de 30 días naturales. Repuestos disponibles durante al menos 5 años, y estimación del coste de una ampliación de garantía.

Documentación en inglés, en formato PDF: manuales de montaje, planos, esquemas, manual de usuario con mantenimiento y reparaciones básicas, lista de repuestos y guía de cualificación del proceso con informe de caracterización inicial.

Presupuesto de licitación: 80.000 euros, sin IVA.

Consulta el pliego oficial antes de presentar una oferta.

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Preguntas frecuentes

¿Quién convoca esta licitación?

La convoca ICFO - Institut de Ciències Fotòniques.

¿Cuál es el presupuesto de esta licitación?

Según los pliegos, el valor estimado del contrato es de 80.000 €.

¿Qué tipo de contrato es?

Es un contrato de suministros, tramitado por procedimiento abierto simplificado.

¿Dónde se ejecuta el contrato?

El lugar de ejecución es Cataluña.

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