Un système de dépôt par sputtering confocal dédié au dépôt de films minces supraconducteurs de haute qualité
Buyer: EPFL-Scientific Equipment
- Published
- 26 November 2025
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00785966-2025
- Reference
- 10906ebf-2271-4ac5-8ca5-d0dc79b9ba52
- Official source
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CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
L'EPFL prévoit d'acquérir un système de dépôt par sputtering confocal dédié au dépôt de films minces supraconducteurs de haute qualité. L'outil sera installé dans la plateforme de salle blanche du Centre de Micro et Nanotechnologie (EPFL CMi). L'équipement sera dédié à la recherche à la pointe de la technologie sur des films minces supraconducteurs à haute inductance cinétique, notamment NbN, NbTiN, TiN et TaN. En ce qui concerne les besoins de l'EPFL et les objectifs scientifiques spécifiques de son laboratoire de Circuits Quantiques Hybrides, l'accent sera mis sur les domaines de recherche suivants: • dispositifs supraconducteurs conçus pour des applications quantiques, tels que des dispositifs optomécaniques et des systèmes d'électrodynamique quantique en circuit.
Award criteria
- Quality — Critères d’adjudication
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| FR_BESTEK | €448,125 | — |
Official publications
- TED · 00785966-2025 · 26 November 2025
- OJS · 228/2025 · 26 November 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is EPFL-Scientific Equipment (European Union).
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