Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Awarded to SPECS Surface Nano Analysis Gmbh.
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Amounts and figures
Description
Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI). Le présent marché comporte les options suivantes: Option a chiffrage obligatoire : - Option 1 : Système de connexion compatible avec les cassettes (conteneurs) transportant les wafers sous vide page 4 du cahier des charges - Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (UPS), page 6 du cahier des charges - Option 3 : Inverse Photoelectron spectroscopy (IPES),…
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés. Critères: Prix de l'équipement : 45% Performance technique de… | — |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Bids received | Date |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | SPECS Surface Nano Analysis Gmbh | €1 | 2 | 22 May 2025 |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 345063-2025 | 28 May 2025 |
| OJS | 102/2025 | 28 May 2025 |
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