Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions

Published

18 February 2025

Place of performance

FRK24

Procedure

Negotiated procedure

Lots

1

Notice number

00108729-2025

Reference

d4652515-727d-4c3c-ac0a-4225fa7d755c

Official source

Official source

CPV codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Description

Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option) La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir effectuer une gravure par faisceau d'ions réactif (RIBE) et une gravure par faisceau d'ions assistée chimiquement (CAIBE) avec des gaz d'argon, d'oxygène, de fluor et de chlore. L'équipement doit traiter différents types de plaques de 200 mm (collées, silicium sur verre ou silicium sur silicium) et d'épaisseurs variables (de 500 à 1500 um).

Award criteria

• Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés Critères : Prix de l'équipement : 50% Performances techniques de…

Awards

Official publications

• TED · 00108729-2025 · 18 February 2025
• OJS · 34/2025 · 18 February 2025

Other tenders from COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

• Conception et fabrication d'un Cryostat de Purification des Mélanges Hydrogénés (CPMH) pour le CEA de Grenoble · 27 August 2026
• Mission d’Ordonnancement, de Pilotage et de Coordination de chantier (OPC) dans le cadre du projet de rénovation de l’aile 40.06 du… · 25 August 2026
• Fourniture d’un Banc Load-Pull vectoriel multiharmoniques FR3 avec référence de phase pour le CEA de GRENOBLE · 13 August 2026
• Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD… · 12 August 2026
• Conception et fabrication d'un Cryostat de Purification des Mélanges Hydrogénés (CPMH) pour le CEA de Grenoble · 3 August 2026
• Fourniture d'une machine de câble filaire ultrasonique 12µm · 3 August 2026
• Nettoyage de pièces de machines expert en ultra propreté pour la micro-électronique de « process kit » et de pièces d'équipements pour le… · 31 July 2026
• Prestations d’exploitation et maintenance des infrastructures du site du CEA Grand Est à Metz · 24 July 2026
• Fourniture de la partie cryogénique du système de mitigation de disruptions du Tokamak ITER · 23 July 2026
• B25-03721-EB · 20 July 2026

Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).

How can I bid for public tenders in European Union?

Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.