Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 28 June 2024
- Submission deadline
- 29 July 2024, 16:00
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00384219-2024
- Reference
- d4652515-727d-4c3c-ac0a-4225fa7d755c
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option) La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir effectuer une gravure par faisceau d'ions réactif (RIBE) et une gravure par faisceau d'ions assistée chimiquement (CAIBE) avec des gaz d'argon, d'oxygène, de fluor et de chlore. L'équipement doit traiter différents types de plaques de 200 mm (collées, silicium sur verre ou silicium sur silicium) et d'épaisseurs variables (de 500 à 1500 um).
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés
Official publications
- TED · 00384219-2024 · 28 June 2024
- OJS · 125/2024 · 28 June 2024
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 29 July 2024, 16:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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