Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Published

12 August 2026

Place of performance

Grenoble, FRK24

Procedure

neg-w-call

Lots

1

Notice number

00559414-2026

Reference

f9ee826c-e357-4294-9aff-a1ddf9a807bd

Official source

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CPV codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Description

Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) …

Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).