Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Buyer: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Published
- 19 December 2025
- Place of performance
- Grenoble, FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00848522-2025
- Reference
- bd04b75b-379d-4845-8ef9-e8ac0a202975
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option obligatoire: - Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options facultatives : -Option n°2: Chiller -Option n°3: Pompe -Option n°4: Transformateur électrique -Option n°5: Formation maintenance avancée -Option n°6: Extension de garantie 1 an supplémentaire
Award criteria
- Price
Official publications
- TED · 00848522-2025 · 19 December 2025
- OJS · 245/2025 · 19 December 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
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