Fourniture d’un équipement d’amincissement "Wafer to Wafer" et "Die to Wafer"
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Awarded to DISCO HI-TEC EUROPE GmbH.
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Amounts and figures
Description
Le CEA LETI souhaite acquérir un équipement automatique (cassette à cassette) de rectification par broyage de tranches de silicium de 200 mm et 300 mm de diamètre en tranches de silicium minces. L'équipement doit être capable de régler une cible d'épaisseur différente pour chaque fente. L'équipement permettra d'effectuer des mesures pendant le processus d'amincissement, à l'aide d'une jauge mécanique et d'un système optique.
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché. | — |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Bids received | Date |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0000 | DISCO HI-TEC EUROPE GmbH, | €1 | 1 | 17 June 2024 |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 385434-2024 | 28 June 2024 |
| OJS | 125/2024 | 28 June 2024 |
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