F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Buyer: UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA Ufficio Appalti Gare e Contratti
- Published
- 13 November 2025
- Submission deadline
- 16 December 2025, 12:00
- Estimated value
- €393,000
- Place of performance
- Modena - Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Via Giuseppe Campi 213 /A - Lab MO-17-00-017 MODENA (MO), ITH54
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00753092-2025
- Reference
- a24af9f1-3c1c-441f-8d81-e507238d5b85
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38970000Investigación, ensayos y simuladores científico-técnicos
Description
F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Award criteria
- Quality — Massimo Spessore Substrato
- Quality — Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore
- Quality — Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata
- Quality — Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione
- Quality — Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)
- Quality — Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica
- Quality — Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia
- Quality — Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni
- Quality — Modalità ALD all'ozono disponibile
- Quality — Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)
- Quality — Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni
- Quality — Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione
Official publications
- TED · 00753092-2025 · 13 November 2025
- OJS · 219/2025 · 13 November 2025
Other tenders from UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA Ufficio Appalti Gare e Contratti
- F3526_Procedura aperta per l'affidamento della fornitura di Fibra Ottica per esigenze dell'Ateneo per la sede di Modena e per il…
- S0125 - PROCEDURA APERTA PER L'AFFIDAMENTO DEI SERVIZI DI INGEGNERIA E ARCHITETTURA DI VERIFICA DELLA PROGETTAZIONE DI FATTIBILITA'…
- F0425-PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN BANCO PROVE BISSIALI COMPRESSIONE/TRAZIONE PER LE ESIGENZE DEL CRITC
- F3625_Fornitura di uno spettrometro di massa Sciez 6500+ QTRAPcon Selexlon+ e UHPLC Shimadzu LC-40 X3
- S0725 - GARA EUROPEA A PROCEDURA APERTA PER L'AFFIDAMENTO DEI SERVIZI DI MANUTENZIONE ORDINARIA SUGLI IMPIANTI ELETTRICI, TRASMISSIONE…
- S3925-PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DEL SERVIZIO DI DIGITALIZZAZIONE E VALORIZZAZIONE DI COLLEZIONI APPARTENENTI AL SISTEMA DEI MUSEI E…
- F0824- Procedura aperta per la fornitura e posa di arredi certificati cl 1 reazione al fuoco per messa a norma MO18
- F2324 - PROCEDURA APERTA PER L'AFFIDAMENTO DELLA FORNITURA UNA STAZIONE DI TEST E MISURA FUEL CELLS OPERANTI CON IDROGENO
- S1325-PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DEI SERVIZI DI ESECUZIONE DELLE ATTIVITA DELLO STABULARIO
- S3425 - Procedura aperta per l'affidamento del servizio Welcome Desk
Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 16 December 2025, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €393,000.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA Ufficio Appalti Gare e Contratti (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.