Elektroniikan puhdastilan prosessikemikaalit
Buyer: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Published
- 5 June 2024
- Procedure
- Open procedure
- Notice number
- 00330094-2024
- Reference
- 1776dd8b-2390-4f4f-987b-330cf0245fd9
- Official source
- Official source
CPV codes
- 24000000Productos químicos
Description
Hankinnan kohteena olivat mikroelektroniikan komponenttien valmistuksessa käytettävät prosessikemikaalit. Kemikaalien tuli olla laadultaan soveltuvia alle 0.5 μm (viivanleveys) rakenteiden valmistamiseen. Hankinnan kohteena olevia kemikaaleja käytetään VTT:n puhdastilassa Espoossa (Micronova). ISO 4 luokan tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetussa puhdastilassa valmistetaan pii-, lasi- ja ohutkalvomikrojärjestelmiä. VTT:llä on noin 50 tutkimusprojektia samanaikaisesti käynnissä puhdastilassa. Lisäksi puhdastilan laitteita, prosesseja ja kemikaaleja käyttää noin 20 ulkopuolista yritystä. Hankinta oli jaettu neljään osakokonaisuuteen: • Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet • Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet • Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit • Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet.
Lots (4)
| Lot | Description | CPV code | Amount |
|---|---|---|---|
| 1 | Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet | 24000000 Productos químicos | — |
| 2 | Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet | 24000000 Productos químicos | — |
| 3 | Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit | 24000000 Productos químicos | — |
| 4 | Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet | 24000000 Productos químicos | — |
Award criteria
- Price — Vertailuhinta
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Elektrokem Oy | — | — |
| Oy Celego Ab | — | — |
| Elektrokem Oy | — | — |
| Elektrokem Oy | — | — |
| Elektrokem Oy | — | — |
Official publications
- TED · 00330094-2024 · 5 June 2024
- OJS · 108/2024 · 5 June 2024
Other tenders from TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Yritys-, omistaja- ja compliance-tietopalvelukokonaisuuden kokonaishankinta
- Wafer metrology
- VMware lisenssien ja Red Hat tukitilausten hankinta
- Projekti 143092 LTCC PATCH7 materials / LTCC-materiaalit
- Picosecond ultrasonics film thickness measurement tool
- Fyysisen pääsynhallinnan järjestelmien huolto- ja ylläpitopalvelut sekä asennus- ja toimituspalvelut
- Julkisten hankintojen kilpailuttamispalvelut (DPS) 2026–2030
- Tutkimuksen kemikaalit: laboratoriokemikaalit ja teollisuuskemikaalit
- 200 mm wafer coating and developing track tool DUV
- UAS Primary Radar
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.