Echipamente pentru depuneri materiale conductoare si dielectrice
Buyer: I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
- Published
- 17 September 2026
- Estimated value
- 5,650,000 RON
- Place of performance
- RO322
- Procedure
- Open procedure
- Notice number
- 00639600-2026
- Reference
- 85db3bec-ac05-4b0b-b92b-6c188b8946bc
- Official source
- Official source
CPV codes
- 42665000Máquinas de metalización por aspersión de metal licuado
Description
LOTUL 1: “Echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (“e-beam deposition”) Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda vaporizarii cu fascicul de electroni, pentru aplicații în cercetare-dezvoltare și prototipare în domeniile microelectronicii și microsistemelor de diverse tipuri (electrice, optice, mecanice). LOTUL 2: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltării și optimizarii unor procese tehnologice noi de depunere a straturilor subțiri de ordinul nanometrilor și micronilor care sa aiba puritate și calitate ridicată, conform cerințelor specifice aplicațiilor de cercetare și prototipare. LOTUL 3: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodic…
Lots (3)
| Lot | Description | CPV code | Amount |
|---|---|---|---|
| 1 | “Echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (“e-beam deposition”) | 42665000 Máquinas de metalización por aspersión de metal licuado | 1,900,000 RON |
| 2 | “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”)procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” | 42665000 Máquinas de metalización por aspersión de metal licuado | 1,800,000 RON |
| 3 | “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare standard" | 42665000 Máquinas de metalización por aspersión de metal licuado | 1,950,000 RON |
Award criteria
- Price — Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) =…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru ofertele la care această distanță este egala cu 500 mm, conform cerinței minime din Caietul de sarcini. - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care această distanță este…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru existența unei singure ferestre de observare, conform cerinței minime din Caietul de sarcini; - Se acordă 6 puncte (maxim) pentru ofertele la care camera de depunere are…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura de 250°C, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru o rezoluție mai bună sau egală cu 0,1 Angstrom și mai slabă decât 0,03 Angstrom (valoare mai mare de 0,03 Angstrom), nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 6 (maxim)…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru valoarea minimă de 5 kW, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 3 puncte pentru ofertele la care sursa de evaporare e-beam are putere mai mare de 5 kW și mai…
- Quality — - Se acordă 8 puncte (maxim) pentru ofertele la care sistemul de pompare (vidare) a camerei de proces poate atinge presiunea de 1 ×10⁻6 Torr sau superior (valori mai mici) într-un interval de timp…
- Quality — - Se acordă 10 puncte (maxim) pentru ofertele care includ o functionalitate integrată echipamentului care să permită curățarea in-situ a camerei de depunere prin metode adecvate, cum ar fi curatare…
- Quality — Punctajul corespunzător extinderii duratei de garantare se calculează astfel: - Pentru garanția minimă de 12 luni, stabilită prin Caietul de sarcini, nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 2…
- Quality — - Se acorda 0 puncte pentru ofertele care NU permit ajustarea controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat; - Se acorda 20 de puncte pentru ofertele care permit ajustarea controlată a…
- Quality — - Se acordă 0 puncte pentru valoarea minimă de 600 °C, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai…
- Quality — - Se acordă 10 puncte (maxim) pentru ofertele la care sistemul de pompare (vidare) a camerei de proces poate atinge presiunea de 1 ×10⁻6 Torr sau superior (valori mai mici) într-un interval de timp…
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| APEL LASER | 1,897,000 RON | — |
| APEL LASER | 1,849,000 RON | — |
| APEL LASER | 1,749,000 RON | — |
Official publications
- TED · 00639600-2026 · 17 September 2026
- OJS · 180/2026 · 17 September 2026
Other tenders from I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
- Echipamente pentru caracterizare fizico-chimica Lotul 1: “Echipament de Spectroscopie Fotoelectronică” Lotul 2: “Echipament de microscopie…
- Echipamente pentru caracterizare fizico-chimica Lotul 1: “Echipament de Spectroscopie Fotoelectronică” Lotul 2: “Echipament de microscopie…
- "Stație de caracterizare în câmp magnetic înalt"
- Echipamente pentru depuneri materiale conductoare si dielectrice
- Echipament numit "Stație de caracterizare în câmp magnetic înalt"
- Echipament pentru nanolitografie
- Servicii de Consultanță în Management de Proiect
- Echipament manufacturare aditivă complexă
- Echipament numit "Stație de caracterizare în câmp magnetic înalt"
- Echipament pentru implantare ionică
Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is 5,650,000 RON.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.